採用14mm 2D振鏡和VCM-Z反射式z軸調焦系統,X、Y、Z軸動態響應完美匹配,實現高速3D加工;
需要動態縮放的應用程序。,主要應用於玻璃鑽孔、3D曲面打標、焊接、雷射挖槽、階面打標等。
| 控制卡 | 參數 | UV 雷射 | YAG / 光纖雷射 | 綠光雷射 |
|---|---|---|---|---|
| 輸入介面 | XY2-100 | — | — | — |
| 偏轉單元規格 | 參數 | 規格 | 規格 | 規格 |
| 掃描角度 | ° | ±11.5 | ±11.5 | ±11.5 |
| 重複精度 | μrad | 5 | 5 | 5 |
| 最大增益漂移 | ppm/K | 12 | 12 | 12 |
| 最大零位漂移 | μrad/K | 30 | 30 | 30 |
| 8 小時長期漂移 | mrad | 0.3 | 0.3 | 0.3 |
| 最大處理速度 | s | 650 | 650 | 650 |
| 小步階響應時間 | ms | ≤0.18 | ≤0.18 | ≤0.18 |
| 動態縮放系統參數 | 小步階響應時間 | ≤1.6 | ≤1.6 | ≤1.6 |
| 光學規格 | 雷射類型 | UV 雷射 | YAG / 光纖 | 綠光雷射 |
| 波長 | nm | 355 | 1064 | 532 |
| 鍍膜 | — | 增透膜 | 增透膜 | 增透膜 |
| 孔徑尺寸 | mm | φ14 | φ14 | φ14 |
| 系統輸入雷射光束直徑 | mm | 9 | 7 | 3.5 |
| 3D 系統場大小 & 光斑直徑 | 參數 | UV 雷射 | YAG / 光纖雷射 | 綠光雷射 |
| 場大小(長 × 寬 × 深) | mm |
100×100×40 200×200×80 300×300×150 400×400×150 500×500×150 600×600×150 |
60×60×60 100×100×90 100×100×40 200×200×80 |
100×100×40 200×200×80 300×300×150 400×400×150 500×500×150 600×600×150 |
| 最小光斑直徑 1/e² | mm |
0.009 0.015 0.022 0.026 0.033 0.039 |
0.021 0.027 0.025 0.0415 |
0.013 0.023 0.031 0.04 0.0496 0.059 |
| 2.5D 系統場大小 & 光斑直徑 | 參數 | — | IR 2.5D 系統 | 綠光 2.5D 系統 |
| 波長 | nm | — | 1064 | 532 |
| 孔徑尺寸 | mm | — | φ14 | φ14 |
| 系統輸入雷射光束直徑 | mm | — | 7 | φ3.5 |
| 場大小(長 × 寬) | mm | — | 210×210 | 70×70 |
| Z 軸聚焦範圍 | mm | — | ±20 | ±5 |
| F-Theta 透鏡至工作面距離 | mm | — | 330 | 93.03 |
| 最小光斑直徑 1/e² | mm/μm | — | 45 μm | 0.01 |
| 應用行業 | — | 玻璃面板切割與鑽孔 | — | — |
| 加工效率 | — | 3mm 厚玻璃,4.6mm 孔徑,切割時間≤15 秒 | — | — |