低噪聲、高線性度和低漂移;
模塊化設計,安裝維護方便;
支持各種 F-theta 鏡頭;
適用於通用協議(XY2-100)和其他協議;
涵蓋機型齊全:10/14/20/30/50mm孔徑
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入口光斑(mm) |
10 |
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跟隨誤差(ms) |
0.14 |
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重複精度(µrad) |
<3 |
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零點漂移(µrad/K) |
<15 |
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增益漂移(ppm/K) |
<80 |
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8小時以上漂移(mrad) |
<0.4 |
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1%全行程(ms) |
0.30 |
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10%全行程(ms) |
1.00 |
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定位速度(m/s) |
20.0 |
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掃描角度(°) |
±12.5 |
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增益誤差(mrad) |
<5 |
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零點誤差(mrad) |
<5 |
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非線性度(%) |
<0.4 |
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電源要求 |
±15VDC, ≥3A |
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數位介面 |
XY2-100 |
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入口光斑(mm) |
14 |
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跟隨誤差(ms) |
0.23 |
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重複精度(µrad) |
<2 |
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零位漂移(µrad/K) |
<15 |
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增益漂移(ppm/K) |
<80 |
|
8小時以上漂移(mrad) |
<0.3 |
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1%全行程(ms) |
0.65 |
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10%全行程(ms) |
1.60 |
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定位速度(m/s) |
10.0 |
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掃描角度(°) |
±25 |
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增益誤差(mrad) |
<5 |
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零位誤差(mrad) |
<5 |
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非線性度(%) |
<0.4 |
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入口光斑(mm) |
30 |
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跟隨誤差(ms) |
0.70 |
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重複精度(µrad) |
<2 |
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零位漂移(µrad/K) |
<15 |
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增益漂移(ppm/K) |
<80 |
|
8小時以上漂移(mrad) |
<0.3 |
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1%全行程(ms) |
1.20 |
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10%全行程(ms) |
4.50 |
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定位速度(m/s) |
3.0 |
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掃描角度(°) |
±25 |
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增益誤差(mrad) |
<5 |
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零位誤差(mrad) |
<5 |
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非線性度(%) |
<0.4 |
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通訊協定 |
16bit:XY2-100 |