品牌：Photonic Lattice
型號 :
SE-101
高速測量 可以最大約 1/70 秒的間隔進行即時測量。它對於膜厚的時變分析也很有效。 即時測量速度可達70fps，可即時觀察膜厚漸層情況。 高度可擴展 主機單元可以拆卸並作為模組使用。
| 型號 | SE-101 |
| 量測方法 |
PCA（光子晶體陣列平行處理方法）膜厚：0.1nm，折射率：0.001* |
| 測量重複性 |
厚度：0.1nm，折射率：0.001 |
| 光源 |
半導體雷射（典型值 636nm) |
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測量點/測量點 |
約1.0平方毫米 |
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入射角 |
標準70度 |
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平台尺寸 |
最大樣品直徑：4英寸 |
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測量速度 |
0.1 秒 / 1點測量 |
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產品內容 |
系統完整軟體（安裝光碟）標準樣本、使用說明書 |
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*對Si（約100 nm厚）上的SiO2薄膜的一點進行100次測量時的標準差值。 |
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*規格如有更改，恕不另行通知。 |
