µBIP 系列是 STI 最新的成像系統，專為軟 X 射線 [1-200 nm] 設計；

不適用於高功率、長波長激光，例如 193 nm 或 248 nm 的準分子激光器，因為這些激光器可能會造成嚴重的內部損壞。

最重要的是，該系統設計用於高真空腔體，使用定制的真空法蘭組件將光學系統連接到真空腔體。法蘭額定壓力為 10-10 Torr。

規格：

• 視野（FoV）：11.5mm²（7.5 倍放大）
• 顯微鏡物鏡波長：1.0 - 200 nm（其他波長及設計可達 405 nm）
• 解析度：（0.6 µm）
• 放大倍率：7.5 倍 / 10 倍
• 總長度（OAL）：16.25-16.95 英寸
• 真空法蘭：直徑 2.75 英寸（孔徑模式 2.312 英寸）

備註：

• 數值基於 1 英寸感測器計算，實際值取決於相機感測器的像素尺寸和整體大小。
• 量測使用感測器規格：2048 x 2048 像素，11.3 x 11.3 mm，5.5 μm 像素，420 萬像素相機。

特性	詳細說明
對焦	可調範圍 ± 0.35 英寸
影像旋轉	圍繞光軸旋轉調整，用於與相機感測器對齊
虹膜光闌	可調節範圍從全閉至全開
相機安裝座	標準 C 型安裝座
真空法蘭	Conflat® 銅制真空法蘭，2.75 英寸，304 不鏽鋼，適用真空度 <10⁻¹⁰ 托爾r.