品牌：ELIONIX
型號 :
ELIONIX-5
ELIONIX-5 的特點
・第五代「ENT」
・透過抑制測量環境中的干擾實現高數據再現性
・完全在日本製造，實現友好的 GUI
・支援從 0.5 μN 到 2,000 mN 的廣泛測試負載
奈米壓痕測試
・可取得薄膜、極端表面、微觀區域的硬度、彈性模量等機械特性。
・無需觀察壓痕，透過分析荷載和位移曲線即可取得特性。
・符合 ISO 14577-1/JIS Z 2255 標準
| 負載/負載分辨率 |
高負載單元：5 μN 至 2,000 mN / 5 nN 低負載單元：0.5 μN 至 10 mN / 0.03 nN |
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|---|---|---|---|---|---|
| 載荷加載方式 | 電磁力型 | ||||
| 測量範圍 | ±50 微米 | ||||
| 測量分辨率 | 下午 0.3 點 | ||||
| 測量方法 | 光學方法 | ||||
| 樣本量（代表值） | φ50×t3.5mm | ||||
| 可測量面積 | X 軸 50 毫米，Y 軸 40 毫米 | ||||
| 最小移動步長 | 0.1 微米 | ||||
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極速加速 製圖 |
高負載單位：1點/秒（代表值） 低負載單位：3點/秒（代表值） 映射點數：最多10,000點（100點×100點） 映射間距：最小0.1μm，最大200μm 分析值：壓痕硬度（H IT）和壓痕模量（E IT） |
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