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多種檢測器選項,覆蓋 190 至 2500 nm:
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190 至 1150 nm,矽探測器
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650 to 1800 nm: InGaAs 偵測器
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1800 to 2300/2500 nm: InGaAs(擴展)偵測器
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符合 ISO 標準的光束直徑測量
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連接埠供電 USB 2.0
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自動增益功能
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可選載物台配件,適用於符合 ISO 11146 標準的 M² 測量
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True2D™ 狹縫
解析度達 0.1 µm
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5 Hz 更新率(可調範圍:2 至 10 Hz)
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輪廓連續波/準連續波光束
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光束直徑 5 µm 至 4 mm,刀口模式下可達 2 µm