• 光柵尺閉環控制，5 nm 最小步伐 （1 nm 可選）；
• 優於 150 nm 重複定位精度；
• 1000 g 級別重量負載；
• 完全無磁，超高真空等特殊版本可選；

類別	項目	型號 A (35×35 mm)	型號 B (65×65 mm)	型號 C (80×80 mm)
基礎資訊	外形尺寸 (寬×長×高)	35 mm × 35 mm × 41 mm	65 mm × 65 mm × 44 mm	80 mm × 80 mm × 40 mm
	零點位置狀態	35 mm × 35 mm × 41 mm	65 mm × 65 mm × 44 mm	80 mm × 80 mm × 40 mm
主體材料	標準版本	鋼; 250 g	鋁合金, 鋼; 310 g	鋁合金, 鋼; 720 g
	.HV 版本	鋼; 250 g	純Ti, 鋼; 500 g	純Ti, 鋼; 840 g
	.UHV 版本	鋼; 250 g	純Ti, 鋼; 500 g	純Ti, 鋼; 840 g
	.NM 版本	純Ti, 陶瓷; 160 g	純Ti, 陶瓷; 270 g	純Ti, 陶瓷; 640 g
	經濟版本 .E	鋼; 250 g	鋁合金, 鋼; 310 g	鋁合金, 鋼; 720 g
運動行程	預設	10 mm	10 mm	10 mm
安裝空間	滿足全行程運動 (寬×長×高)	35 mm × 35 mm × 51 mm	65 mm × 65 mm × 54 mm	86.7 mm × 80 mm × 50 mm
技術參數	速度範圍 (預設)	0.1 μm/s ~ 10 mm/s	0.1 μm/s ~ 10 mm/s	0.1 μm/s ~ 3 mm/s
	速度範圍 (.HV & .UHV 版本)	推薦使用 1 mm/s	推薦使用 1 mm/s	推薦使用 0.3 mm/s
	保持力	7.5 N	7.5 N	15 N
	最大負載 (典型值)	500 g	500 g	1 kg
	最大負載 (選配：增加重力補償單元)	1 kg	1.5 kg	3 kg
	雙向重複定位精度 (預設)	± 150 nm	± 150 nm	± 150 nm
	雙向重複定位精度 (經濟版本 .E)	± 300 nm	± 300 nm	± 300 nm
	全行程俯仰/偏擺	0.3 mrad	0.3 mrad	0.3 mrad
	最小步伐（閉環）(預設)	5 nm	5 nm	5 nm
	最小步伐（閉環）(經濟版本 .E)	100 nm	100 nm	100 nm
位置感測器	種類	光學位置感測器	光學位置感測器	光學位置感測器
	解析度 (其他版本 - 預設)	2 nm	2 nm	2 nm
	解析度 (其他版本 - 選配)	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm
	解析度 (經濟版本 .E)	50 nm	50 nm	50 nm