• 光柵尺閉環控制，5 nm 最小步伐 （1 nm 可選）;
• 完全無磁，超高真空等特殊版本可選;
• 優於 100 nm 重複定位精度;
• 支援模擬信號運動控制;
• 支援多種通訊介面;

類別	項目	LS35x.Lab	LS65x.Lab	LS105x.Lab
基礎資訊	外形尺寸 (寬×長×高)	35 mm × 35 mm × 12 mm	65 mm × 65 mm × 13 mm	105 mm × 105 mm × 20 mm
	零點位置狀態	35 mm × 35 mm × 12 mm	65 mm × 65 mm × 13 mm	105 mm × 105 mm × 20 mm
主體材料	標準版本	鋼; 85 g	鋁合金, 鋼; 160 g	鋁合金, 鋼; 630 g
	.HV 版本	鋼; 85 g	純Ti, 鋼; 260 g	純Ti, 鋼; 910 g
	.UHV 版本	鋼; 85 g	純Ti, 鋼; 260 g	純Ti, 鋼; 910 g
	.NM 版本	純Ti, 陶瓷; 65 g	純Ti, 陶瓷; 110 g	純Ti, 陶瓷; 770 g
	經濟版本 .E	鋼; 85 g	鋁合金, 鋼; 160 g	鋁合金, 鋼; 630 g
運動行程	預設	20 mm	30 mm	60 mm
安裝空間	滿行程運動 (寬×長×高)	35 mm × 55 mm × 12 mm	65 mm × 95 mm × 13 mm	105 mm × 165 mm × 20 mm
技術參數	速度範圍 (預設)	0.1 μm/s ~ 20 mm/s	0.1 μm/s ~ 20 mm/s	0.1 μm/s ~ 20 mm/s
	速度範圍 (.HV & .UHV 版本)	0.1 μm/s ~ 2 mm/s	0.1 μm/s ~ 2 mm/s	0.1 μm/s ~ 2 mm/s
	驅動力 (典型值)	2 N	2 N	3 N
	驅動力 (選配)	4 N	4 N	N/A
	保持力 (典型值)	3 N	3 N	5 N
	保持力 (選配)	5 N	5 N	N/A
	最大負載 (水平方向使用)	1 kg	2 kg	4 kg
	最大負載 (垂直方向使用)	預設: 100 g 選配: 250 g	預設: 100 g 選配: 250 g	N/A
	雙向重複定位精度 (預設)	± 100 nm	± 100 nm	± 100 nm
	雙向重複定位精度 (經濟版本 .E)	± 300 nm	± 300 nm	± 300 nm
	全行程俯仰/偏擺	0.3 mrad	0.3 mrad	0.2 mrad
	最小步伐（閉環）(預設)	5 nm	5 nm	5 nm
	最小步伐（閉環）(經濟版本 .E)	100 nm	100 nm	100 nm
位置感測器	種類	光學位置感測器	光學位置感測器	光學位置感測器
	解析度 (其他版本 - 預設)	2 nm	2 nm	2 nm
	解析度 (其他版本 - 選配)	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm
	解析度 (經濟版本 .E)	50 nm	50 nm	50 nm