• 极低温(10 mK), 强磁场(35 T), 超高真空(2×10-11 mbar)兼容;
• 高负载&高输出力: 1000 g & 3 N;
• 行程: 30/50/75/100 mm;
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參數分類
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參數項目
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LS-Linear30
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LS-Linear50
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LS-Linear75
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LS-Linear100
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一、基礎信息
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外形尺寸(零點位置狀態)
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65 mm × 32 mm × 19.5 mm
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95 mm × 32 mm × 19.5 mm
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135 mm × 32 mm × 19.5 mm
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185 mm × 32 mm × 19.5 mm
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運動行程
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30 mm
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50 mm
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75 mm
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100 mm
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安裝空間(滿行程運動)
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95 mm × 32 mm × 19.5 mm
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145 mm × 32 mm × 19.5 mm
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210 mm × 32 mm × 19.5 mm
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285 mm × 32 mm × 19.5 mm
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主體材料與重量(標準版本)
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純鈦;100 g
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鈦合金;150 g
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鈦合金;220 g
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鈦合金;300 g
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主體材料與重量(.UHV 超高真空版本)
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純鈦;100 g
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鈦合金;150 g
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鈦合金;220 g
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鈦合金;300 g
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主體材料與重量(.ULT 低溫版本)
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鈹銅;175 g
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鈹銅;175 g
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鈹銅;400 g
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鈹銅;540 g
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主體材料與重量(.UHV.ULT 超高真空低溫複合版本)
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鈹銅;175 g
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鈹銅;175 g
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鈹銅;400 g
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鈹銅;540 g
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二、核心技術參數
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最大速度(@ 300 K 室溫)
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~ 3 mm/s
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~ 3 mm/s
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~ 3 mm/s
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~ 3 mm/s
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最大負載
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750 g
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750 g
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1000 g
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1000 g
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驅動力
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3 N
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3 N
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3 N
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3 N
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最小運動步伐
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~ 10 nm
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~ 10 nm
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~ 10 nm
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~ 10 nm
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精調分辨率(@ 2 K 低溫)
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亞納米級(sub-nm)
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亞納米級(sub-nm)
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亞納米級(sub-nm)
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亞納米級(sub-nm)
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雙向重複定位精度
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1~2 μm
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1~2 μm
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1~2 μm
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1~2 μm
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位置傳感器種類
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電阻型位置傳感器
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電阻型位置傳感器
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電阻型位置傳感器
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電阻型位置傳感器
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位置傳感器量程
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30 mm
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50 mm
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75 mm
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100 mm
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位置傳感器分辨率
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~ 150 nm
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~ 150 nm
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~ 150 nm
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~ 150 nm
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位置傳感器功率
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3 mW
(極低溫可選 5 μW)
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2 mW
(極低溫可選 3 μW)
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1.5 mW
(極低溫可選 2 μW)
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1 mW
(極低溫可選 1.5 μW)
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