品牌：Multi-Field
型號 :
Linear16-z/Linear25-z/Linear25-z.LR/Linear35-z
1、inear-z系列位移台全行程運動x/y方向偏移量不超過6 μm， 直線度約為行程的千分之一（已扣除安裝等因素帶來的線性背底）;
2、多場科技全系列位移台無須要求驅動線纜小於5 Ω，本頁內所有參數均通過50 Ω驅動線測量。
2、多場科技全系列位移台無須要求驅動線纜小於5 Ω，本頁內所有參數均通過50 Ω驅動線測量。
| 參數分類 | 參數項目 | LS-Mini3（3mm 行程） | LS-Mini6（6mm 行程） | LS-Mini16（16mm 行程） | LS-Mini8（8mm 行程） |
|---|---|---|---|---|---|
| 一、基礎信息 | 外形尺寸（零點位置狀態） | 16 × 16 × 16 mm | 25 × 25 × 19.6 mm | 25 × 25 × 29.6 mm | 35 × 35 × 30 mm |
| 運動行程 | 3 mm | 6 mm | 16 mm | 8 mm | |
| 安裝空間（滿行程運動） | 16 × 16 × 19 mm | 25 × 25 × 25.6 mm | 25 × 25 × 45.6 mm | 35 × 35 × 38 mm | |
| 主體材料與重量（標準版本） | 純鈦；12 g | 純鈦；34 g | 純鈦；62 g | 純鈦；118 g | |
| 主體材料與重量（.UHV 超高真空版本） | 純鈦；12 g | 純鈦；34 g | 純鈦；62 g | 純鈦；118 g | |
| 主體材料與重量（.ULT 低溫版本） | 鈹銅；20 g | 鈹銅；58 g | 鈹銅；105 g | 鈹銅；201 g | |
| 主體材料與重量（.UHV.ULT 超高真空低溫複合版本） | 鈹銅；20 g | 鈹銅；58 g | 鈹銅；105 g | 鈹銅；201 g | |
| 二、核心技術參數 | 最大速度（@ 300 K 室溫） | ~ 2 mm/s | ~ 2 mm/s | ~ 2 mm/s | ~ 2 mm/s |
| 最大負載 | 250 g | 300 g | 300 g | 300 g | |
| 驅動力 | 3 N | 3 N | 3 N | 5 N | |
| 最小運動步伐 | ~ 10 nm | ~ 10 nm | ~ 10 nm | ~ 10 nm | |
| 精調分辨率（@ 2 K 低溫） | 亞納米級（sub-nm） | 亞納米級（sub-nm） | 亞納米級（sub-nm） | 亞納米級（sub-nm） | |
| 雙向重複定位精度 | 1~2 μm | 1~2 μm | 1~2 μm | 1~2 μm | |
| 位置傳感器種類 | 電阻型位置傳感器 | 電阻型位置傳感器 | 電阻型位置傳感器 | 電阻型位置傳感器 | |
| 位置傳感器量程 | 3 mm | 6 mm | 16 mm | 8 mm | |
| 位置傳感器分辨率 | ~ 150 nm | ~ 150 nm | ~ 150 nm | ~ 150 nm | |
| 位置傳感器功率 | 1 mW（極低溫可選 1 μW） | 1 mW（極低溫可選 1 μW） | 1 mW（極低溫可選 1 μW） | 1 mW（極低溫可選 1 μW） |
