1、多場科技全系列位移台無須要求驅動線纜小於5 Ω,本頁內所有參數均通過50 Ω驅動線測量。
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參數分類
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參數項目
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LS-Mini3(3mm 行程)
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LS-Mini6(6mm 行程)
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LS-Mini16(16mm 行程)
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LS-Mini8(8mm 行程)
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一、基礎信息
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外形尺寸(零點位置狀態)
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16 × 16 × 16 mm
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25 × 25 × 19.6 mm
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25 × 25 × 29.6 mm
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35 × 35 × 30 mm
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運動行程
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3 mm
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6 mm
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16 mm
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8 mm
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安裝空間(滿行程運動)
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16 × 16 × 19 mm
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25 × 25 × 25.6 mm
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25 × 25 × 45.6 mm
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35 × 35 × 38 mm
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主體材料與重量(標準版本)
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純鈦;12 g
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純鈦;34 g
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純鈦;62 g
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純鈦;118 g
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主體材料與重量(.UHV 超高真空版本)
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純鈦;12 g
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純鈦;34 g
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純鈦;62 g
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純鈦;118 g
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主體材料與重量(.ULT 低溫版本)
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鈹銅;20 g
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鈹銅;58 g
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鈹銅;105 g
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鈹銅;201 g
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主體材料與重量(.UHV.ULT 超高真空低溫複合版本)
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鈹銅;20 g
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鈹銅;58 g
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鈹銅;105 g
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鈹銅;201 g
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二、核心技術參數
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最大速度(@ 300 K 室溫)
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~ 2 mm/s
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~ 2 mm/s
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~ 2 mm/s
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~ 2 mm/s
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最大負載
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250 g
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300 g
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300 g
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300 g
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驅動力
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3 N
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3 N
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3 N
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5 N
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最小運動步伐
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~ 10 nm
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~ 10 nm
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~ 10 nm
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~ 10 nm
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精調分辨率(@ 2 K 低溫)
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亞納米級(sub-nm)
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亞納米級(sub-nm)
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亞納米級(sub-nm)
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亞納米級(sub-nm)
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雙向重複定位精度
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1~2 μm
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1~2 μm
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1~2 μm
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1~2 μm
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位置傳感器種類
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電阻型位置傳感器
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電阻型位置傳感器
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電阻型位置傳感器
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電阻型位置傳感器
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位置傳感器量程
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3 mm
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6 mm
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16 mm
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8 mm
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位置傳感器分辨率
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~ 150 nm
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~ 150 nm
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~ 150 nm
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~ 150 nm
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位置傳感器功率
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1 mW(極低溫可選 1 μW)
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1 mW(極低溫可選 1 μW)
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1 mW(極低溫可選 1 μW)
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1 mW(極低溫可選 1 μW)
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