最大線性速度：200 毫米 / 秒，具備奈米等級下依舊出色的高速運行性能。
最大旋轉速度：720 度 / 秒，搭載高速閉迴路旋轉馬達。
最大負載：2 公斤，運行速度快，可承載重負載。
備註：支援多種通訊介面；支援類比訊號運動控制；另有無磁版本與特規超高真空版本可供選配。

類別	項目	RS65.Speed	RS105.Speed
尺寸	外形尺寸 (寬×長×高)	65 mm × 65 mm × 25 mm	105 mm × 135 mm × 25 mm
	零點位置狀態	65 mm × 65 mm × 25 mm	105 mm × 135 mm × 25 mm
主體材料	標準版本	鋁合金; 330 g	鋁合金; 800 g
	.HV 版本	鈦合金; 360 g	鈦合金; 1 kg
	.UHV 版本	鈦合金; 360 g	鈦合金; 1 kg
	.NM 版本	鋁合金; 330 g	鋁合金; 800 g
運動行程	預設	360° 連續運動	360° 連續運動
技術參數	速度範圍 (預設)	60 °/s ~ 720 °/s	1.3 °/s ~ 180 °/s
	速度範圍 (.HV & .UHV 版本)	推薦使用 60 °/s	推薦使用 36 °/s
	最大負載	2 kg	5 kg
	額定力矩	0.5 N·m	0.15 N·m
	最大力矩	0.8 N·m	0.2 N·m
	保持力矩	0.8 N·m	0.2 N·m
	最小步伐	15 μrad	2 μrad
位置感測器	種類	光學位置感測器	光學位置感測器
	解析度	1 μrad	1 μrad