最大線性速度：200 毫米 / 秒，具備奈米等級下依舊出色的高速運行性能。
最大旋轉速度：720 度 / 秒，搭載高速閉迴路旋轉馬達。
最大負載：2 公斤，運行速度快，可承載重負載。
備註：支援多種通訊介面；支援類比訊號運動控制；另有無磁版本與特規超高真空版本可供選配。

類別	項目	LS50x.Speed	LS65x.Speed	LS105x.Speed
基礎資訊	外形尺寸 (寬×長×高)	50 mm × 50 mm × 14 mm	65 mm × 65 mm × 15 mm	105 mm × 105 mm × 20 mm
	零點位置狀態	50 mm × 50 mm × 14 mm	65 mm × 65 mm × 15 mm	105 mm × 105 mm × 20 mm
主體材料	標準版本	鋁合金, 鋼; 120 g	鋁合金, 鋼; 200 g	鋁合金, 鋼; 660 g
	.HV 版本	鈦, 鋼; 150 g	鈦, 鋼; 270 g	鈦, 鋼; 960 g
	.UHV 版本	鈦, 鋼; 150 g	鈦, 鋼; 270 g	鈦, 鋼; 960 g
	.NM 版本	鈦, 陶瓷; 130 g	鈦, 陶瓷; 240 g	鈦, 陶瓷; 910 g
運動行程	預設	22 mm	30 mm	60 mm
安裝空間	滿行程運動 (寬×長×高)	50 mm × 74 mm × 14 mm	65 mm × 95 mm × 15 mm	105 mm × 165 mm × 20 mm
技術參數	速度範圍 (預設)	5 mm/s ~ 200 mm/s	5 mm/s ~ 200 mm/s	5 mm/s ~ 200 mm/s
	速度範圍 (.HV & .UHV 版本)	5 mm/s ~ 20 mm/s	5 mm/s ~ 20 mm/s	5 mm/s ~ 20 mm/s
	驅動力	1.5 N	3 N	4 N
	保持力	3 N	4 N	5 N
	最大負載 (水平方向使用)	2 kg	3 kg	5 kg
	最大負載 (垂直方向使用)	100 g	150 g	N/A
	雙向重複定位精度	± 250 nm	± 250 nm	± 250 nm
	全行程俯仰/偏擺	0.3 mrad	0.3 mrad	0.2 mrad
	最小步伐 (開環)	50 nm	50 nm	50 nm
位置感測器	種類	光學位置感測器	光學位置感測器	光學位置感測器
	解析度	2 nm	2 nm	2 nm