品牌：Multi-Field
型號 :
LS200
Indus 系列最大可到 200 mm 的大行程運動模組
| 類別 | 項目 | 規格 |
|---|---|---|
| 基礎資訊 | 外形尺寸 (寬×長×高) | 82 mm × 295 mm × 20 mm |
| 零點位置狀態 | 82 mm × 295 mm × 20 mm | |
| 主體材料 | 標準版本 | 鋁合金, 鋼; 1 kg |
| .HV 版本 | 鋁合金, 鋼; 1 kg | |
| .UHV 版本 | 鋁合金, 鋼; 1 kg | |
| .NM 版本 | 純 Ti, 陶瓷; — | |
| 經濟版本 .E | 鋁合金, 鋼; 1 kg | |
| 運動行程 | 預設 | 200 mm |
| 技術參數 | 速度範圍 (預設) | 0.1 μm/s ~ 10 mm/s |
| 速度範圍 (.HV & .UHV 版本) | 0.1 μm/s ~ 1 mm/s | |
| 驅動力 | 3 N | |
| 保持力 | 5 N | |
| 最大負載 (水平方向使用) | 2 kg | |
| 最大負載 (垂直方向使用) | 100 g | |
| 雙向重複定位精度 (預設) | ± 100 nm | |
| 雙向重複定位精度 (經濟版本 .E) | ± 300 nm | |
| 全行程俯仰/偏擺 | 0.3 mrad | |
| 最小步伐（閉環）(預設) | 5 nm | |
| 最小步伐（閉環）(經濟版本 .E) | 100 nm | |
| 位置感測器 | 種類 | 光學位置感測器 |
| 解析度 (其他版本 - 預設) | 2 nm | |
| 解析度 (其他版本 - 選配) | 0.5 nm | |
| 解析度 (經濟版本 .E) | 50 nm |
