品牌：Multi-Field
型號 :
L050.Indus/L100.Indus/L150.Indus
Indus 系列最大可到 200 mm 的大行程運動模組
| 類別 | 項目 | 型號 A (行程 50 mm) | 型號 B (行程 100 mm) | 型號 C (行程 150 mm) |
|---|---|---|---|---|
| 基礎資訊 | 外形尺寸 (寬×長×高) | 90 mm × 24 mm × 14 mm | 180 mm × 24 mm × 14 mm | 250 mm × 36 mm × 16.5 mm |
| 零點位置狀態 | 90 mm × 24 mm × 14 mm | 180 mm × 24 mm × 14 mm | 250 mm × 36 mm × 16.5 mm | |
| 主體材料 | 標準版本 | 鋁合金, 鋼; 122 g | 鋁合金, 鋼; 240 g | 鋁合金, 鋼; 630 g |
| .HV 版本 | 鋁合金, 鋼; 142 g | 鋁合金, 鋼; 280 g | 鋁合金, 鋼; 730 g | |
| .UHV 版本 | 鋁合金, 鋼; 142 g | 鋁合金, 鋼; 280 g | 鋁合金, 鋼; 730 g | |
| .NM 版本 | 純 Ti, 陶瓷; 75 g | 純 Ti, 陶瓷; 160 g | 純 Ti, 陶瓷; 390 g | |
| 經濟版本 .E | 鋁合金, 鋼; 95 g | 鋁合金, 鋼; 200 g | 鋁合金, 鋼; 490 g | |
| 運動行程 | 預設 | 50 mm | 100 mm | 150 mm |
| 安裝空間 | 滿行程運動 (寬×長×高) | 140 mm × 24 mm × 14 mm | 280 mm × 24 mm × 14 mm | 400 mm × 36 mm × 16.5 mm |
| 技術參數 | 速度範圍 (預設) | 0.1 μm/s ~ 10 mm/s | 0.1 μm/s ~ 10 mm/s | 0.1 μm/s ~ 10 mm/s |
| 速度範圍 (.HV & .UHV 版本) | 0.1 μm/s ~ 1 mm/s | 0.1 μm/s ~ 1 mm/s | 0.1 μm/s ~ 1 mm/s | |
| 驅動力 | 2 N | 2 N | 2 N | |
| 保持力 | 3 N | 3 N | 3 N | |
| 最大負載 (水平方向使用) | 1 kg | 2 kg | 3 kg | |
| 雙向重複定位精度 (預設) | ± 150 nm | ± 150 nm | ± 150 nm | |
| 雙向重複定位精度 (經濟版本 .E) | ± 300 nm | ± 300 nm | ± 300 nm | |
| 全行程俯仰/偏擺 | 0.2 mrad | 0.2 mrad | 0.2 mrad | |
| 最小步伐（閉環）(預設) | 5 nm | 5 nm | 5 nm | |
| 最小步伐（閉環）(經濟版本 .E) | 100 nm | 100 nm | 100 nm | |
| 位置感測器 | 種類 | 光學位置感測器 | 光學位置感測器 | 光學位置感測器 |
| 解析度 (其他版本 - 預設) | 2 nm | 2 nm | 2 nm | |
| 解析度 (其他版本 - 選配) | 0.5 nm | 0.5 nm | 0.5 nm | |
| 解析度 (經濟版本 .E) | 50 nm | 50 nm | 50 nm |
