品牌：Multi-Field
型號 :
Free6D.3-2.070/Free6D.3-2.150
“6自由度，徹底更自在”並聯結構同時保證自由度和精度的最好選擇
| 類別 | 項目 | 型號 A (Φ 70 mm) | 型號 B (Φ 150 mm) |
|---|---|---|---|
| 基礎資訊 | 外形尺寸 — 原點位置 | Φ 70 mm × 65 mm | Φ 150 mm × 90 mm |
| 外形尺寸 — 滿行程運動 | Φ 85 mm × 75 mm | Φ 155 mm × 100 mm | |
| 主體材料 | 標準版本 | 鋁合金, 鋼; 400 g | 鋁合金, 鋼; 1.4 kg |
| .HV 版本 | 鋁合金, 鋼; 400 g | 鋁合金, 鋼; 1.4 kg | |
| .UHV 版本 | 鋁合金, 鋼; 400 g | 鋁合金, 鋼; 1.4 kg | |
| .NM 版本 | 純Ti, 陶瓷; 600 g | 純Ti, 陶瓷; 2.1 kg | |
| 最大垂直負載 | 預設 | 300 g | 1 kg |
| 中空孔徑 | 預設 | N/A | Φ 40 mm |
| 運動行程 | X | ± 5 mm | ± 10 mm |
| Y | ± 5 mm | ± 10 mm | |
| Z | ± 2.5 mm | ± 5 mm | |
| θX | ± 16° | ± 9° | |
| θY | ± 13° | ± 8° | |
| θZ | ± 26° | ± 14° | |
| 單向重複定位精度 | X | ± 0.25 μm | ± 0.25 μm |
| Y | ± 0.25 μm | ± 0.25 μm | |
| Z | ± 0.15 μm | ± 0.15 μm | |
| θX | ± 8 μrad | ± 5 μrad | |
| θY | ± 8 μrad | ± 5 μrad | |
| θZ | ± 8 μrad | ± 5 μrad | |
| 最小步伐 | X | 10 nm | 10 nm |
| Y | 10 nm | 10 nm | |
| Z | 10 nm | 10 nm | |
| θX | 1 μrad | 1 μrad | |
| θY | 1 μrad | 1 μrad | |
| θZ | 1 μrad | 1 μrad | |
| 位置感測器 | 種類 | 光學位置感測器 | 光學位置感測器 |
| 解析度 | 2 nm | 2 nm |
