品牌：Multi-Field
型號 :
Free3D.ZTxTy.070/Free3D.ZTxTy.100
“極致單軸准直運動，任何偏擺都調的回來”
更大力的負載，更緊湊的外形 or 更大的行程，更快的運動速度；
| 類別 | 項目 | 型號 A | 型號 B |
|---|---|---|---|
| 基礎資訊 | 外形尺寸 — 原點位置 | Φ 150 mm × 80 mm | Φ 150 mm × 80 mm |
| 外形尺寸 — 滿行程運動 | Φ 150 mm × 90 mm | Φ 150 mm × 90 mm | |
| 主體材料 | 標準版本 | 鋁合金, 鋼; 800 g | 鋁合金, 鋼; 1000 g |
| .HV 版本 | 鋁合金, 鋼; 800 g | 鋁合金, 鋼; 1000 g | |
| .UHV 版本 | 鋁合金, 鋼; 800 g | 鋁合金, 鋼; 1000 g | |
| .NM 版本 | 純Ti, 陶瓷; 460 g | 純Ti, 陶瓷; 1300 g | |
| 技術參數 | 最大垂直負載 | 2 kg（無磁版本 750 g） | 2 kg（無磁版本 750 g） |
| 中空孔徑 | 60 mm | 60 mm | |
| 運動行程 | Z | ± 5 mm | ± 5 mm |
| θX | ± 7° | ± 7° | |
| θY | ± 7° | ± 7° | |
| 單向重複定位精度 | Z | ± 0.3 μm | ± 0.3 μm |
| θX | ± 5 μrad | ± 5 μrad | |
| θY | ± 5 μrad | ± 5 μrad | |
| 最小步伐 | Z | 10 nm | 10 nm |
| θX | 1 μrad | 1 μrad | |
| θY | 1 μrad | 1 μrad | |
| 位置感測器 | 種類 | 光學位置感測器 | 光學位置感測器 |
| 解析度 | 2 nm | 2 nm |
