適配商業顯微鏡的載物台,緊湊&高精度;
納米級分辨率、極緊湊外形;
大通光孔與長行程完美兼容;
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Carrier.L7550.XY
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Carrier.L1010.XY
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標準版(Standard Version)
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常壓環境
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✓
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✓
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.HV 高真空版(High Vacuum Version)
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真空度優於 2×10⁻⁷毫巴
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✓
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✓
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.UHV 超高真空版(Ultra–high Vacuum Version)
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真空度優於 2×10⁻¹¹ 毫巴
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✓
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✓
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.NM 無磁版(Non–magnetic Version)
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無磁材質
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✓
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✓
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類別
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項目
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型號 A (行程 75×50 mm)
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型號 B (行程 100×100 mm)
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基礎資訊
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外形尺寸 — 零點位置
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250 mm × 200 mm × 25 mm
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250 mm × 250 mm × 30 mm
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外形尺寸 — 滿行程運動
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325 mm × 250 mm × 25 mm
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350 mm × 350 mm × 30 mm
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主體材料
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標準版本
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鋁合金,不鏽鋼;2.1 kg
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鋁合金,不鏽鋼;3.5 kg
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.HV 版本
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鋁合金,不鏽鋼;2.1 kg
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鋁合金,不鏽鋼;3.5 kg
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.UHV 版本
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鋁合金,不鏽鋼;2.1 kg
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鋁合金,不鏽鋼;3.5 kg
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.NM 版本
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鋁合金,陶瓷;1.9 kg
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鋁合金,陶瓷;3.3 kg
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運動行程
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X × Y
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75 mm × 50 mm
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100 mm × 100 mm
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技術參數
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速度範圍 (預設)
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0.1 μm/s ~ 10 mm/s
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0.1 μm/s ~ 10 mm/s
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速度範圍 (.HV & .UHV 版本)
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0.1 μm/s ~ 1 mm/s
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0.1 μm/s ~ 1 mm/s
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運動方向最大推力
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2 N
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2 N
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保持力
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4 N
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4 N
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最大負載 (水平方向使用)
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4 kg
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4 kg
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最小步伐(閉環)
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5 nm
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5 nm
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全行程俯仰/偏擺
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0.3 mrad
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0.3 mrad
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位置感測器
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解析度
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2 nm
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2 nm
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種類
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光學位置感測器
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光學位置感測器
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