• 電容式位置感測， XY， Z 方向掃描運動
• （閉環） 空間解析度0.5 nm
• （閉環） 優於5 nm 重複定位精度
• 極低溫（10 mK）， 強磁場（35 T）， 超高真空（2×10-11 mbar）相容

參數分類	參數項目	Scanner25-x.Ultra	Scanner25-z.Ultra	Scanner35-xy.Ultra	Scanner35-z.Ultra
一、基礎信息	外形尺寸（零點位置狀態）	25 × 25 × 10.5 mm	25 × 25 × 10.5 mm	35 × 35 × 14.5 mm	35 × 35 × 14.5 mm
	主體材料與重量（標準版本）	鈦合金；33 g	鈦合金；33 g	鈦合金；75 g	鈦合金；75 g
	主體材料與重量（.UHV 超高真空版本）	鈦合金；30 g	鈦合金；30 g	鈦合金；75 g	鈦合金；75 g
	主體材料與重量（.ULT 低溫版本）	鈹銅；63 g	鈹銅；63 g	鈹銅；145 g	鈹銅；145 g
	主體材料與重量（.UHV.ULT 超高真空低溫複合版本）	鈹銅；57 g	鈹銅；57 g	鈹銅；145 g	鈹銅；145 g
二、核心技術參數	運動方向	X 軸	Z 軸	X 軸 & Y 軸	Z 軸
	掃描行程（@ 300 K 室溫）	55 μm	55 μm	100 μm × 100 μm	100 μm
	掃描行程（@ 4 K 低溫）	30 μm	30 μm	60 μm × 60 μm	60 μm
	驅動電壓（@ 300 K 室溫）	0 V ~ 75 V	0 V ~ 75 V	0 V ~ 75 V	0 V ~ 75 V
	驅動電壓（@ 4 K 低溫）	-150 V ~ 150 V	-150 V ~ 150 V	-150 V ~ 150 V	-150 V ~ 150 V
	最大負載	200 g	200 g	500 g	500 g
	驅動電容（@ 300 K 室溫）	4 μF	4 μF	8 μF	8 μF
	位置傳感器	電容式位置傳感器 – 多場科技 C0.2.FLT.Cryo	電容式位置傳感器 – 多場科技 C0.2.FLT.Cryo	電容式位置傳感器 – 多場科技 C0.2.FLT.Cryo	電容式位置傳感器 – 多場科技 C0.2.FLT.Cryo
	閉環運動解析度	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm
	雙向重複定位精度（典型值）	< 5 nm	< 5 nm	< 5 nm	< 5 nm