閉環運動控制,納米級最小步伐,百萬次以上的全行程往複測試
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類別
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項目
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型號 A (行程 10 mm)
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型號 B (行程 6 mm)
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基礎資訊
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外形尺寸 (寬×長×高) — 零點位置
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23.2 mm × 20 mm × 12 mm
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11 mm × 11 mm × 6.5 mm
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外形尺寸 (寬×長×高) — 滿行程運動
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33.2 mm × 20 mm × 12 mm
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17 mm × 11 mm × 6.5 mm
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主體材料
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標準版本
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鋼; 30 g
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鋼; 10 g
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.HV 版本
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鋼; 30 g
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鋼; 10 g
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.UHV 版本
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鋼; 30 g
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鋼; 10 g
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.NM 版本
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純Ti, 陶瓷; 30 g
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純Ti, 陶瓷; 10 g
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運動行程
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預設
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10 mm
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6 mm
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技術參數
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速度範圍 (預設)
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10 mm/s
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10 mm/s
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速度範圍 (.HV & .UHV 版本)
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1 mm/s
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1 mm/s
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驅動力
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1.5 N
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0.3 N
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保持力
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3 N
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0.5 N
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最大負載 (水平方向使用)
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300 g
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50 g
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最大負載 (垂直方向使用)
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100 g
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N/A
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最小步伐(閉環)
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5 nm
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N/A
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位置感測器
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解析度
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2 nm
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N/A
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種類
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光學位置感測器
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N/A
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