-搭配「魯智深系列」全新控制器，真正實現超穩定納米級運動;
-推力最高達：100 N。納米級運動系列，單位體積下力輸出的巔峰之作。
-最小步伐・閉環：5 nm。極致控制能力，保證超大力負載下啟停。
-運動解析度·開環：0.02 nm。超高開環運動解析度，方便使用者自主集成運動方案。

類別	項目	FDU30.Pro	FDU30	FDU100
基礎資訊	外形尺寸 (長×寬×高)	58 mm × 25 mm × 25 mm	58 mm × 25 mm × 20 mm	110 mm × 30 mm × 40 mm
	零點位置狀態	58 mm × 25 mm × 25 mm	58 mm × 25 mm × 20 mm	110 mm × 30 mm × 40 mm
主體材料	標準版本	鋼; 130 g	鋼; 100 g	鋼; 200 g
	.HV 版本	鋼; 130 g	鋼; 100 g	鋼; 200 g
	.UHV 版本	鋼; 130 g	鋼; 100 g	鋼; 200 g
	.NM 版本	鈦合金, 陶瓷; 75 g	鈦合金, 陶瓷; 60 g	鈦合金, 陶瓷; 130 g
運動行程	預設	15 mm	20 mm	70 mm
	可選配	N/A	N/A	長度可訂製
安裝空間	滿行程運動 (長×寬×高)	73 mm × 25 mm × 25 mm	78 mm × 25 mm × 20 mm	180 mm × 30 mm × 40 mm
技術參數	速度範圍 (預設)	0.1 mm/s ~ 1 mm/s	0.1 mm/s ~ 1 mm/s	0.1 mm/s ~ 3 mm/s
	速度範圍 (.HV & .UHV 版本)	0.1 mm/s ~ 0.3 mm/s	0.1 mm/s ~ 0.3 mm/s	0.1 mm/s ~ 0.9 mm/s
	驅動力	30 N	30 N	100 N
	保持力	40 N	40 N	120 N
	雙向重複定位精度	± 250 nm	N/A	N/A
	全行程俯仰/偏擺	1 mrad	N/A	N/A
	最小步伐 (開環)	2 nm	2 nm	2 nm
	最小步伐 (閉環)	5 nm	N/A	N/A
	開環運動解析度	0.02 nm	0.02 nm	0.02 nm
位置感測器	種類	光學位置感測器	N/A	N/A
	解析度	2 nm	N/A	N/A